面向半导体封装与 3C 电子组装领域的 IC 固晶设备运动控制方案,采用恒昱 HY7800 高速点位卡,实现晶元高速精准取放,定位精度 ±20μm,节拍 UPH 稳定提升。
IC 固晶是半导体封装的关键工序,主要用于将芯片(Die)从晶圆(Wafer)上精确拾取并贴装到基板(Lead Frame / PCB / 基板)上,再通过银胶(Epoxy)、共晶焊接(Eutectic Bonding)或激光焊接等方式固定。固晶机的运动控制系统需要高速、高精地完成 取晶 → 抬起 → 平移 → 对准 → 贴装 的完整动作循环,是整机节拍与良率的核心决定因素。
高速固晶机对运动控制提出了比传统 CNC 或普通装配更为严苛的综合要求
单 UPH 已突破 2 万,取晶-平移-贴装循环中每毫秒都至关重要,指令与执行周期压缩空间有限。
定位偏差需控制在 ±20μm 以内,贴装力要求精度 2g,既要准又要稳,传统位置环难以兼顾。
Z 轴高频启停、龙门轴高速换向易引发机械共振,影响固晶良率与轴承寿命。
单机动轴数 6–16 轴、IO 点位 40+,要求控制方案紧凑、布线简洁、整体可控成本。
以 HY-E400-SX EtherCAT 总线主站卡 + HY7800 高速点位卡为核心,搭配 ECK01 远程 IO,构建高速高精固晶运动控制平台
搭载视觉定位算法与工艺调度软件,完成晶元偏移计算、角度补偿与节拍管理,实时下发运动指令。
HY-E400-SX PCIe EtherCAT 总线主站卡 + ECK01 远程 IO 模块,依托 DC 分布式时钟实现多工位微秒级同步。
伺服驱动器驱动固晶 / 点胶 / 传输 / 上下料四大工位,完成高速高精取晶、贴装、传输与上下料动作。
总线指令下发快、主控运行周期短,脉冲输出响应 ≤2μs,节拍压缩无瓶颈。
伺服超级追踪 + 编码器四倍频 6MHz 反馈,重复定位精度 ±2μm,综合精度 ±20μm。
提供软启动、软着陆及 S 型高阶速度曲线,Z 轴贴装无冲击,减少工件与吸盘磨损。
支持在线变速、在线变位,EtherCAT 组网参数批量下载,换型时间由小时级压缩至分钟级。
在已交付的 100+ 台固晶机中,客户实测获得以下可量化收益